遠程塵埃粒子在線監(jiān)測系統(tǒng)的選擇
集成電路加工制造業(yè)是必須在一個潔凈自然環(huán)境中開展的,,它是應用超純原材料開展超細致生產(chǎn)加工的制造行業(yè)。集成電路生產(chǎn)制造對凈化室自然環(huán)境的操縱有嚴苛的規(guī)定,,不一樣的加工工藝對潔凈度有不一樣的規(guī)定,。塵埃粒子在線監(jiān)測系統(tǒng)
半導體材料集成電路在加工過程中會觸碰到許多 空氣污染物,,例如無機正離子、有機化學化學物質(zhì),、微生物菌種,、汽體殘渣這些。此外,,理論來講,,不適度的溫度、環(huán)境濕度,、陽光照射,、靜電感應超標準、電磁感應噪音,、空氣噪音和微震動也是獨特的空氣污染物。
在其中,,當顆粒物殘渣,、無機正離子、有機化學化學物質(zhì),、微生物菌種和汽體殘渣的成分超出一定程度時,,集成電路商品會出現(xiàn)表層刮傷、圖型破裂,、短路故障,、針眼、蛻皮等狀況,。造成電路泄露和出現(xiàn)異常電氣設(shè)備特點,,輕則危害電路特性和使用期,重則造成電路損毀,。
一般 ,,環(huán)境污染造成的電路商品返修率將會達到60%。簡而言之,,集成電路集成ic的產(chǎn)出率與集成ic的缺點相對密度相關(guān),,而缺點相對密度與空氣中的顆粒數(shù)相關(guān)。因而,,伴隨著集成電路的快速發(fā)展趨勢,,不但對操縱空氣中顆粒物的尺寸規(guī)定極高,并且對操縱顆粒物的總數(shù)也規(guī)定極高,。另外,,對集成電路工藝集成電路工作環(huán)境中凈化車間新項目的有機化學環(huán)境污染操縱也是有有關(guān)規(guī)定。塵埃粒子在線監(jiān)測系統(tǒng)
由于這類狀況,,就必須應用遠程控制空氣浮塵粒子計數(shù)器來對半導體材料集成電路生產(chǎn)線的自然環(huán)境開展檢測,,確保商品工作環(huán)境做到清潔規(guī)范,,針對空氣浮塵粒子計數(shù)器的挑選,項目工程師提議應用英國ParticlesPlusInc.遠程控制空氣浮塵粒子計數(shù)器-5301,,配備簡易,,可從一個儀器設(shè)備遷移到另一個儀器設(shè)備,便于清理和擦洗與最小的粒子圈套,,智能安裝選擇項,,無縫拼接集成化到設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)軟件。