Vertex50液體顆粒計數(shù)器對超純水的監(jiān)測與認(rèn)證
Vertex50是一款功能強(qiáng)大的液體粒子計數(shù)器,,具有包括納米級在內(nèi)的多個尺寸通道,。
Vertex50測量和檢測UPW系統(tǒng)中≥50nm的趨勢
Vertex50是世界領(lǐng)先的液體粒子計數(shù)器之一,。它可以檢測在超純水系統(tǒng)(UPW)中≥50nm的顆粒,對于50nm的粒子具有準(zhǔn)確的靈敏度,。
超純水是一個常用的術(shù)語,,用來強(qiáng)調(diào)水被處理到所有污染物類型的最高純度,。這包括有機(jī)化合物和無機(jī)化合物;溶解物和顆粒物,;揮發(fā)性和非揮發(fā)性,、反應(yīng)性和惰性;親水性和疏水性,;以及溶解氣體。超純水系統(tǒng)用于許多行業(yè),,包括制藥和半導(dǎo)體,。
Vertex 50資格認(rèn)證設(shè)置和范圍
Vertex50可以檢測從50納米到200納米的粒子。以微米為單位,,Vertex50的四個尺寸通道有如下,;0.05μm 0.10μm 0.15μm 0.20μm
Vertex50的流速為100ml/分鐘,采樣率為5ml/分鐘,。Vertex50的誤計數(shù)率在行業(yè)中最低,,每毫升不到0.2次。這一點至關(guān)重要,,因為低誤計數(shù)率是檢測納米范圍內(nèi)顆粒的關(guān)鍵,,因為誤報會導(dǎo)致數(shù)據(jù)不可用。很難確定這些計數(shù)是真實的還是錯誤的,。
確定計數(shù)是實際的真實計數(shù)還是錯誤計數(shù)變得很有挑戰(zhàn)性,。液體粒子計數(shù)器的光電探測器可以將來自宇宙和地球射線的干擾算作錯誤計數(shù)。因此,,消除這種錯誤計數(shù)干擾可以提高Vertex50數(shù)據(jù)的整體準(zhǔn)確度,。
Vertex50校準(zhǔn)驗證摘要
Vertex50的校準(zhǔn)過程貫穿粒子通道的范圍,并驗證尺寸精度,、計數(shù)精度,、靈敏度、零計數(shù)和錯誤計數(shù)驗證,。校準(zhǔn)過程將可追蹤的參考粒子引入每個通道,。可追蹤的在第一階段引入顆粒尺寸,。在第二階段,,無顆粒水通過兩個后CLRW過濾階段。在第三階段,,可追蹤顆粒被引入第三階段的稀釋系統(tǒng),。然后根據(jù)稀釋比,因此濃度是已知的,。每個通道都是單獨測試的,。
Vertex50(被測單元UUT)和參考標(biāo)準(zhǔn)的計數(shù)效率范圍為已知,。在第4階段,將UUT和參考標(biāo)準(zhǔn)一起進(jìn)行比較,。計數(shù)比率為計算以驗證計數(shù)準(zhǔn)確性,。在UUT上調(diào)整所有通道閾值,直到計數(shù)在參考值的±5%范圍內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)必須驗證零計數(shù)和暗噪聲,,這樣就不會引入錯誤計數(shù),。
什么是Vertex50校準(zhǔn)驗證
Vertex50校準(zhǔn)和驗證告訴我們Vertex50可以檢測4個尺寸范圍內(nèi)的粒子:50nm 100nm 150nm 200nm
Vertex50驗證還驗證了傳感器設(shè)計并消除了錯誤計數(shù)先進(jìn)的光電探測器設(shè)計,暗噪聲也極低,。不需要任何用于減去暗噪聲的算法(這種算法實際上可能引入錯誤計數(shù)),。因此Vertex50具有高靈敏度。
Vertex50應(yīng)該如何在UPW中使用污染檢測,?
Vertex50專為在線監(jiān)控而設(shè)計,。Vertex50可以連接LMS Express監(jiān)控軟件,以便數(shù)據(jù)趨勢,、報告,、自動報警消息,并發(fā)出通知,。如果出現(xiàn)污染,,整個系統(tǒng)可以做出快速響應(yīng)事件發(fā)生。
Vertex50可以在UPW系統(tǒng)的多個位置使用監(jiān)控過濾器性能,、系統(tǒng)效率,,并對任何污染事件。這樣可以確保產(chǎn)品得到加工使用未受污染的UPW,,提高產(chǎn)品產(chǎn)量和質(zhì)量,。
當(dāng)連接到LMS Express時,可以收集數(shù)據(jù)點,,并顯示視覺趨勢,,以驗證UPW的健康狀況系統(tǒng)實時運(yùn)行。過濾器更換可以輕松管理,,UPW的總體運(yùn)行時間可以增強(qiáng)系統(tǒng),。
建立UPW實時監(jiān)控LMS Express和Vertex50
Vertex50高靈敏度的主要優(yōu)勢之一是在線監(jiān)測。具有確定了UPW系統(tǒng)沿線的監(jiān)測點,,可以實時監(jiān)測水質(zhì)當(dāng)Vertex50采樣點連接到LMS Express監(jiān)控軟件時,。UPW系統(tǒng)可以進(jìn)行主動監(jiān)測,并在水質(zhì)出現(xiàn)問題時發(fā)出警報通知變高,??梢詮谋O(jiān)控系統(tǒng)中收集有用的數(shù)據(jù)。
以上數(shù)據(jù)采集于10nm的過濾階段,。該趨勢顯示了觀察到的高計數(shù)的歷史數(shù)據(jù),。經(jīng)過檢查,,過濾器需要更換。決定啟動主動過濾器更換計劃,。在計劃的UPW服務(wù)計劃中,,過濾器將每6個月更換一次。通過使用監(jiān)控系統(tǒng)和回顧數(shù)據(jù)趨勢,,制定了計劃的服務(wù)事件,,通過防止計劃外停機(jī)來提高產(chǎn)品產(chǎn)量